化学气相沉积装置及其电极
授权
摘要
本实用新型提出一种化学气相沉积装置及其电极，化学气相沉积装置包括加热机构，所述加热机构包括电极及热丝，所述电极包括本体及限位件，所述热丝穿设于所述本体，所述限位件穿设于所述本体并抵持所述热丝。所述电极能够防止热丝断裂。
基本信息
专利标题 ：
化学气相沉积装置及其电极
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921508070.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-11
授权号 ：
CN210916245U
授权日 ：
2020-07-03
发明人 ：
李军旗袁晓波陈惠陈涛陈万潘飞
申请人 ：
深圳精匠云创科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙华区龙华街道东环二路二号富士康科技园D1区塑模厂1层及夹层A区
代理机构 ：
深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司
代理人 ：
叶乙梅
优先权 ：
CN201921508070.2
主分类号 ：
C23C16/27
IPC分类号 ：
C23C16/27 C23C16/44
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/22
以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C16/26
仅沉积碳
C23C16/27
仅沉积金刚石
法律状态
2020-07-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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