一种用于热丝化学气相沉积系统的热丝布置装置
授权
摘要
本实用新型公开一种用于热丝化学气相沉积系统的热丝布置装置，包括用于放置物料的轴杆，所述轴杆上成对设置有电极盘，所述电极盘上设有若干穿丝孔，热丝穿过所述穿丝孔架设在成对的所述电极盘之间。通过成对设置带多个穿丝孔的电极盘，热丝穿过穿丝孔架设在电极盘之间，并能根据待加工的零部件的形状调整热丝的布置方式，实现了一台热丝布置装置满足各种不同大小、不同形状的产品的加工需要，提高了通用性。
基本信息
专利标题 ：
一种用于热丝化学气相沉积系统的热丝布置装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921954781.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-13
授权号 ：
CN211999907U
授权日 ：
2020-11-24
发明人 ：
曾祥才李建国丰杰罗鑫黄科瑞
申请人 ：
久钻科技（成都）有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市简阳市工业集中发展区贾家中小企业园
代理机构 ：
成都市集智汇华知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李华
优先权 ：
CN201921954781.2
主分类号 ：
C23C16/27
IPC分类号 ：
C23C16/27 C23C16/46
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/22
以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C16/26
仅沉积碳
C23C16/27
仅沉积金刚石
法律状态
2020-11-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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