一种化学气相沉积系统
授权
摘要
本实用新型提供一种化学气相沉积系统，包括气相沉积炉、焦油冷凝装置和尾气过滤装置，气相沉积炉的顶部设有尾气排出管；焦油冷凝装置包括冷凝罐、冷凝板和焦油收集罐，冷凝罐的顶部与尾气排出管连通，冷凝罐的底部与焦油收集罐连通；冷凝罐内设有冷凝腔，冷凝板设置在冷凝腔内，尾气过滤装置与冷凝腔连通；冷凝板具有导油侧壁，导油侧壁的部分外壁面与冷凝腔的腔壁抵接；导油侧壁上均匀分布设置有多个条形槽，各条形槽均沿竖直方向延伸。本实用新型提供的化学气相沉积系统，能够去除尾气中的有害位置，避免这些有害物质排放到大气中会对环境造成污染。
基本信息
专利标题 ：
一种化学气相沉积系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122834056.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-18
授权号 ：
CN216320950U
授权日 ：
2022-04-19
发明人 ：
陈志军曹卫康志卫王伟
申请人 ：
湖南诺沃科技有限公司
申请人地址 ：
湖南省岳阳市汨罗市弼时镇汉山路南侧
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202122834056.5
主分类号 ：
B01D53/02
IPC分类号 ：
B01D53/02 B01D46/12 B01D46/62
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
B01D53/02
通过吸附作用，例如，制备气相色谱法
法律状态
2022-04-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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