本申请提供了一种用于化学气相沉积反应的供气系统，该供气系统包括：液态源储存设备，用于存储液态源；汽化设备，与液态源储存设备可切断地连通，汽化设备用于对液态源汽化；气体存储设备，与汽化设备可切断地连通，气体存储设备用于储存汽化设备汽化形成的气体；化学气相沉积反应设备，与气体存储设备连通。该系统将汽化形成的气体先储存在气体存储设备中，这样当气体存储设备中的气体达到预定的压力后，再向化学气相沉积反应设备供气，避免了供气过程受到汽化过程的影响，从而提高了气体供应的稳定性，解决了现有技术中的供气方式供气不稳定的问题。