用于复合材料气相沉积炉的供气组件
授权
摘要

本实用新型涉及气相沉积炉供气技术领域,尤其涉及用于复合材料气相沉积炉的供气组件,解决了现有气相沉积炉供气的气孔易出现堵塞的情况,影响生产效率的缺点,包括供气壳体以及设置在供气壳体端部的端盖,供气壳体的内部设置有供气内胆,所述端盖的端部内侧通过螺栓固定有刮除电机,所述刮除电机的输出轴套接固定有转板,所述转板的表面设置有挡板,转板的表面还设置有刮板,在供气壳体端部设置端盖,并安装刮除电机,通过刮除电机驱动转板转动,从而推动转板底部连接的刮板作用在供气内胆的外表面,从而利用刮板表面的硬质毛刷对气孔内堵塞物进行刮除,有效防止了气孔堵塞的情况。

基本信息
专利标题 :
用于复合材料气相沉积炉的供气组件
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122981855.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-11-30
授权号 :
CN216427405U
授权日 :
2022-05-03
发明人 :
李梅刘峰
申请人 :
常州曙光电子材料有限公司
申请人地址 :
江苏省常州市新北区保纳商业广场6幢407室
代理机构 :
常州中润迅达专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
李静
优先权 :
CN202122981855.5
主分类号 :
C23C16/455
IPC分类号 :
C23C16/455  B08B1/00  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/455
向反应室输入气体或在反应室中改性气流的方法
法律状态
2022-05-03 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332