多功能复合材料气相沉积炉
授权
摘要
本实用新型涉及气相沉积炉技术领域，尤其涉及多功能复合材料气相沉积炉，包括炉体，所述炉体的内侧下半部设置有加热室、上半部设置有沉积室，所述沉积室的一侧内壁设置有水平的固定柱，固定柱的端部铰接有活动柱，活动柱的两端对应位置处分别铰接有圆弧形的夹板，两边的夹板之间夹持有旋转盘，旋转盘的底部通过吸盘吸附有待气相沉积的晶圆，本实用新型解决了在对晶圆表面进行气相沉积时，会出现沉积不均匀的状况，影响产品质量的问题，本沉积炉的提出，工作人员能够根据需要实时调整晶圆的受喷区域，保证整个晶圆能够均匀的进行沉积作用，有效提高产品的质量。
基本信息
专利标题 ：
多功能复合材料气相沉积炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123162742.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-16
授权号 ：
CN216427402U
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
刘峰李梅
申请人 ：
常州曙光电子材料有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市新北区保纳商业广场6幢407室
代理机构 ：
常州中润迅达专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
曹诚
优先权 ：
CN202123162742.9
主分类号 ：
C23C16/44
IPC分类号 ：
C23C16/44 C23C16/458 C23C16/52
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
法律状态
2022-05-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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