改进式的复合材料气相沉积炉结构
授权
摘要
本实用新型涉及气相沉积炉技术领域，尤其涉及改进式的复合材料气相沉积炉结构，包括炉体，所述炉体的内侧下半部设置有加热室、上半部设置有沉积室，且加热室与沉积室之间通过通道保持连通，所述炉体的顶部通口处设置有对开式的密封盖，在两边的密封盖的底部对应位置处分别铰接有活动臂，活动臂的下端均通过连接杆连接有框架，框架沿沉积室的内壁上下滑动，框架内转动连接有安装板，安装板的板面上设置有吸附晶圆片用的吸盘，本实用新型解决了气相沉积后的晶圆不方便拿取的问题，本沉积炉的提出，可升降式的框架方便，配合设置在框架内侧可旋转的安装板设计可以方便人们快速地放置或者拿取晶圆，操作便捷，有利于提升工作效率。
基本信息
专利标题 ：
改进式的复合材料气相沉积炉结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123163477.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-16
授权号 ：
CN216427403U
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
刘峰李梅
申请人 ：
常州曙光电子材料有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市新北区保纳商业广场6幢407室
代理机构 ：
常州中润迅达专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
曹诚
优先权 ：
CN202123163477.6
主分类号 ：
C23C16/44
IPC分类号 ：
C23C16/44 C23C16/54
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
法律状态
2022-05-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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