一种用于炭炭复合材料板材气相沉积的沉积室
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摘要
本实用新型涉及一种用于炭炭复合材料板材气相沉积的沉积室，包括主沉积室和多个分隔组件；主沉积室包括吊装底板，吊装底板上设置有4个支撑方柱安装孔，每个安装孔内安装一根支撑方柱，支撑方柱的顶部安装横梁，四块沉积室侧板安装在支撑方柱的外侧，盖板放置在横梁的上方，吊装底板、支撑方柱、横梁、沉积室侧板及盖板形成沉积腔；多条插槽板平行安装在沉积腔内的吊装底板上，插槽板上均匀设置插槽，插槽板的两端设置固定孔；所述的分隔组件包括两根隔条和连接两根隔条的连接绳。本申请结构合理、制作简单，可整体吊装、操作方便，可摆放大尺寸板材，板材变形小、沉积气氛流畅、无无效沉积面积，板材沉积表面均匀致密。
基本信息
专利标题 ：
一种用于炭炭复合材料板材气相沉积的沉积室
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921399423.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-27
授权号 ：
CN210261989U
授权日 ：
2020-04-07
发明人 ：
张宜杰
申请人 ：
烟台鲁航炭材料科技有限公司
申请人地址 ：
山东省烟台市开发区牡丹江路1号
代理机构 ：
烟台上禾知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
丁宝君
优先权 ：
CN201921399423.X
主分类号 ：
C23C16/458
IPC分类号 ：
C23C16/458 C23C16/455 C23C16/26
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/458
在反应室中支承基体的方法
法律状态
2020-04-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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