一种炭炭复合材料气相沉积炉用旋转装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种炭炭复合材料气相沉积炉用旋转装置，其特征在于，包括中心套管，中心套管的顶部通过固定轴承安装被动大齿轮，中心套管底部插装在炉底中心固定套内，炉底中心固定套的侧壁上设置有侧进气管；进气管插入中心套管并与炉底中心固定套连接；所述的被动大齿轮与安装在驱动轴端部的主动小齿轮咬合，驱动轴与电机连接；所述的被动大齿轮的顶面安装托板，托板的顶面安装垫墩，垫墩顶面安装隔热垫。本申请具有结构合理、简单，操作使用简便，沉积室内温度更加均匀，有利于沉积等优点。
基本信息
专利标题 ：
一种炭炭复合材料气相沉积炉用旋转装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921017552.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-02
授权号 ：
CN210287519U
授权日 ：
2020-04-10
发明人 ：
张宜杰
申请人 ：
烟台鲁航炭材料科技有限公司
申请人地址 ：
山东省烟台市开发区牡丹江路1号
代理机构 ：
烟台上禾知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
丁宝君
优先权 ：
CN201921017552.8
主分类号 ：
C23C16/26
IPC分类号 ：
C23C16/26 C23C16/458
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/22
以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C16/26
仅沉积碳
法律状态
2020-04-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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