一种C/C复合材料气相沉积炉
授权
摘要
本实用新型公开了一种C/C复合材料气相沉积炉，包括炉体、进气系统和排气系统，所述炉体为多晶硅铸锭炉炉体，所述炉体的底部设有进气口、顶部设有排气口，所述进气系统与进气口连接，所述排气系统与排气口连接。本实用新型提供了一种多晶硅铸锭炉的改造思路，对现有多晶硅铸锭炉的排气模式以及进气模式进行改造，使得多晶硅铸锭炉具备了化学气相沉积的能力，使其具备C/C复合材料预制体CVD致密化工艺的能力，合理利用了闲置的多晶硅铸锭炉，有效的节约了制造成本。
基本信息
专利标题 ：
一种C/C复合材料气相沉积炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022072201.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-18
授权号 ：
CN213203186U
授权日 ：
2021-05-14
发明人 ：
瞿海斌陈国红蒋益民谭晓松段金刚喻鹏辉黄美玲
申请人 ：
湖南红太阳新能源科技有限公司
申请人地址 ：
湖南省长沙市高新开发区桐梓坡西路586号
代理机构 ：
湖南兆弘专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
戴玲
优先权 ：
CN202022072201.6
主分类号 ：
C23C16/26
IPC分类号 ：
C23C16/26 C23C16/455 C23C16/52
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/22
以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C16/26
仅沉积碳
法律状态
2021-05-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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