用于复合材料气相沉积炉的中心加热器结构
授权
摘要
本实用新型涉及气相沉积炉加热技术领域，尤其涉及用于复合材料气相沉积炉的中心加热器结构，解决了现有气相沉积炉加热部件管路繁多，成本高的缺点，包括转盘、贯穿转盘轴心设置的供气管以及转动电机，通过在供气管的外部套接菱形盘，并通过转动电机驱动套设在供气管外部的转盘转动，使得转盘顶部循环箱内设置的推拉杆作用在菱形盘外部，在转动电机驱动转动的过程中，菱形盘会配合复位弹簧实现推拉杆的往复传动，从而推动置于循环箱内的活塞配合两个单向阀循环抽取换热管内的导热液，以此提高导热液的导热效率，并在转动电机的作用下，在炉体内部轴向转动，能够为炉体内部进行均匀供热，结构简单，且大大降低了加热成本，实用性强。
基本信息
专利标题 ：
用于复合材料气相沉积炉的中心加热器结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122976271.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-30
授权号 ：
CN216427406U
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
李梅刘峰
申请人 ：
常州曙光电子材料有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市新北区保纳商业广场6幢407室
代理机构 ：
常州中润迅达专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李静
优先权 ：
CN202122976271.9
主分类号 ：
C23C16/46
IPC分类号 ：
C23C16/46
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/46
以加热基体的方法为特征的
法律状态
2022-05-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
