一种用于化学气相沉积机加热器的提升装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于化学气相沉积机加热器的提升装置,化学气相沉积加热器包含圆盘状的主体部分和垂直于主体部分延伸的凸起部分,提升装置包含:支架;抓取机构,抓取机构包含:支承板,支承板平行于主体部分的上表面延伸;多个钩爪,钩爪连接至支承板,其中支承板的下表面和多个钩爪共同限定用于容纳主体部分的空腔,并且钩爪相对于支承板可朝向/远离空腔的中心轴移动;以及提升机构,提升机构连接抓取机构至支架,并驱动抓取机构相对于支架竖向移动。该提升装置可代替传统的手工提升,有效提高了安全性和加热器更换效率。
基本信息
专利标题 :
一种用于化学气相沉积机加热器的提升装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122446017.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-10-11
授权号 :
CN216190606U
授权日 :
2022-04-05
发明人 :
陈保栋张耀林袁彬万荣朱军健
申请人 :
和舰芯片制造(苏州)股份有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市苏州工业园区星华街333号
代理机构 :
北京连和连知识产权代理有限公司
代理人 :
刘小峰
优先权 :
CN202122446017.8
主分类号 :
B66C25/00
IPC分类号 :
B66C25/00 B66C13/08
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B66
卷扬;提升;牵引
B66C
起重机;用于起重机、绞盘、绞车或滑车的载荷吊挂元件或装置
B66C25/00
不包含在B66C17/00至B66C23/00各组中的起重机
法律状态
2022-04-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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