一种气相沉积炉加热装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种气相沉积炉加热装置,包括炉体,炉体内固定设有第一气缸,第一气缸的第一输出端上固定设有托板,托板上固定安装有第二气缸,第二气缸的第二输出端上通过键的方式固定连接有安装架,安装架的下端连接有放置台,炉体内还设有加热机构,加热机构包括加热箱,加热箱设有安装有加热管,加热箱的上端两侧分别设有长翻边,该加热箱上还安装有上盖,上盖的中部分别设有长导板和短导板,上盖的两端分别固定连接有压簧,压簧的另一端固定连接在限位块上。本实用新型解决了传统的生产过程中需要将需要处理的材料放置到支架上,通过外部套设的加热装置进行加热,这样加热热量容易散出,加热效果差的问题。
基本信息
专利标题 :
一种气相沉积炉加热装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122659434.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-11-02
授权号 :
CN216192699U
授权日 :
2022-04-05
发明人 :
刘昊亮郭勇张振清陈浩纯
申请人 :
江西昊军智能装备有限公司
申请人地址 :
江西省景德镇市珠山区陶玉南路山水瑞园B9栋
代理机构 :
北京科家知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
庄吴敏
优先权 :
CN202122659434.0
主分类号 :
C23C16/54
IPC分类号 :
C23C16/54 C23C16/46
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/54
连续镀覆的专用设备
法律状态
2022-04-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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