一种气相沉积炉
授权
摘要
本实用新型涉及沉积炉技术领域，特别是涉及一种气相沉积炉，包括炉壳，炉壳内底部这有坩埚，坩埚是设有埚盖，炉壳内顶部设有卸料箱，卸料箱内设有集尘箱，埚盖与卸料箱之间连接有沉积板，沉积板、埚盖以及卸料箱底部之间形成沉积室，埚盖上开设有多个连通沉积室的第一通孔，卸料箱底部开设有连通沉积室的第二通孔，坩埚与炉壳之间设有第一加热器，沉积板与炉壳之间设有第二加热器。通过第一加热器加热坩埚，使坩埚内的温度升高，放置在坩埚内的固体化学物质汽化，从多个第一通孔内进入到沉积室内，发生化学反应沉积，一小部分气体进入到卸料箱内，在卸料箱的顶部，温度降低，形成粉末状，受重力作用掉落至集尘箱内。
基本信息
专利标题 ：
一种气相沉积炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021530717.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-29
授权号 ：
CN212770946U
授权日 ：
2021-03-23
发明人 ：
卜洛
申请人 ：
湖南九华碳素高科有限公司
申请人地址 ：
湖南省湘潭市九华经济区纬一路5号
代理机构 ：
长沙鑫泽信知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
尹锋
优先权 ：
CN202021530717.4
主分类号 ：
C23C16/44
IPC分类号 ：
C23C16/44 C23C16/448
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
法律状态
2021-03-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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