旋转装置和气相沉积炉

专利申请权、专利权的转移

摘要

本公开提供了一种旋转装置和气相沉积炉，旋转装置包括旋转轴、开设有第一连接孔和第三连接孔的上盖板、开设有第二连接孔的下盖板、开设有第四连接孔的第一齿轮、第二齿轮和连接杆。旋转轴穿过上盖板、第一齿轮和下盖板并与下盖板连接，第一齿轮位于上盖板和下盖板之间；第二齿轮沿其周向设置且套设于连接杆，连接杆穿过下盖板与模具连接。上盖板和下盖板配置为通过第一连接孔和第二连接孔连接；上盖板和第一齿轮配置为通过第三连接孔和第四连接孔连接。第一齿轮和旋转轴之间设有第一间隙，第一齿轮和旋转轴配置为通过在第一间隙插入第一固定件固定，下盖板和旋转轴之间设有第二间隙，下盖板和旋转轴配置为通过在第二间隙插入第二固定件固定。

基本信息

专利标题：

旋转装置和气相沉积炉

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022129747.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-24

授权号：

CN213679838U

授权日：

2021-07-13

发明人：

余明朱刘李房斌胡丹谭继军

申请人：

广东先导先进材料股份有限公司

申请人地址：

广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号B区

代理机构：

北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

张向琨

优先权：

CN202022129747.0

主分类号：

C01B21/064

IPC分类号：

C01B21/064