增强型化学气相沉积反应系统
授权
摘要
本实用新型公开了增强型化学气相沉积反应系统，包括降温机构，所述降温机构中安装有降温主体，所述降温主体的内部开设有放置槽，所述降温主体的外端面均固定安装有固定安装板，所述固定安装板的外部固定安装有辅助降温装置和主降温装置，且所述辅助降温装置位于降温主体的两侧，所述放置槽的内部固定安装有沉积箱，所述沉积箱的上端内部固定插接有输送板，所述输送板的外端面中部固定插接有输入管，所述沉积箱的上端滑动密封插接有密封板。本实用新型使用过程中可以确保沉积箱在长时间的工作后内部的温度适中控制在适合发生沉积反应的状态，不会出现温度升至过高现象的出现，确保了镀膜的快速顺利进行。
基本信息
专利标题 ：
增强型化学气相沉积反应系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021741782.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-20
授权号 ：
CN213255495U
授权日 ：
2021-05-25
发明人 ：
浦招前
申请人 ：
苏州派华纳米科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市相城区渭塘镇钻石路2008号5号楼3层
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021741782.1
主分类号 ：
B05C15/00
IPC分类号 ：
B05C15/00 B05C11/10
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05C
一般对表面涂布流体的装置
B05C15/00
设备的屏蔽；室
法律状态
2021-05-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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