一种芯片载带加工车间用除尘过滤装置
授权
摘要
本实用新型提供了一种芯片载带加工车间用除尘过滤装置，包括精滤组件、粗滤组件和回风道，所述精滤组件设置于回风道顶部，所述粗滤组件设置在回风道中部并与回风道内壁四周接触，所述回风道底部设置有回风口来连通回风道与车间。本实用新型通过在车间的回风道设置精滤组件和粗滤组件，实现了对车间循环的空气进行多级过滤除尘的效果，有效的提升了车间空气清洁度，结构简单，便于更换零部件；本实用新型利用回风道和车间的回路促进空气循环流动，有杂质的空气进入回风道进行除尘，提高了车间内空气流动速率，进一步提高了除尘速率。
基本信息
专利标题 ：
一种芯片载带加工车间用除尘过滤装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920845275.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-06
授权号 ：
CN210356412U
授权日 ：
2020-04-21
发明人 ：
蔡水河
申请人 ：
常州欣盛半导体技术股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市武进区东方东路51-1号
代理机构 ：
北京驰纳智财知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
蒋路帆
优先权 ：
CN201920845275.3
主分类号 ：
B01D46/12
IPC分类号 ：
B01D46/12
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D46/00
专门用于把弥散粒子从气体或蒸气中分离出来的经过改进的过滤器和过滤方法
B01D46/10
采用具有平表面的滤板、滤片或滤垫的粒子分离器，如聚尘器
B01D46/12
多排的
法律状态
2020-04-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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