本实用新型公开了一种工艺制程槽槽盖自动开合装置，属于半导体制造领域。该装置包括箱体、动力机构、连接块、传动轴、连接板和槽盖。箱体设置在槽体后方并与槽体在水平方向上间距一定距离，动力机构和连接块设置在箱体内，动力机构能够沿着竖直方向上下移动；连接块的第一端与动力机构的下端铰接，第二端与传动轴固定连接；传动轴的两端伸出箱体并与连接板连接，连接板与槽盖连接；连接块的第一端的高度高于第二端的高度，连接块的第一端与槽体的水平间距大于第二端与槽体的水平间距。本实用新型可以实现槽盖自动打开和关闭动作，自动化程度高，安全性好；避免了抓取装置的设计难度及高度以及不能进入厂房的问题，降低了制造成本。