基于柱面光栅的分光波导模块和集成光谱仪
授权
摘要
本实用新型公开了一种基于柱面光栅的集成光谱仪。光谱仪包括布置在一个箱体里的入射狭缝、分光波导模块和线阵探测器。分光波导模块包括平板波导和柱形出入射端、柱面光栅。基于柱面光栅的分光波导模块采用机械加工法和基于电子束3D灰度曝光光刻法结合整体加工而成。平板波导采用高折射率材料，能有效减少光谱仪的整体厚度，并能提高光谱仪的数值孔径，具有较高的光通量。使用3D灰度曝光光刻和刻蚀技术制作柱面光栅，可以制作几十纳米线宽的光栅，加工精度高、刻蚀后结构表面较为光滑，易于制作微型光谱仪。本实用新型具有高光通量、轻薄、高分辨率且系统更加紧凑、性能更稳定等优点。
基本信息
专利标题 ：
基于柱面光栅的分光波导模块和集成光谱仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920880674.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-13
授权号 ：
CN209945555U
授权日 ：
2020-01-14
发明人 ：
聂荣志孙屹伟李巧吴昌斌储涛彭波
申请人 ：
浙江溯源光科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省嘉兴市海宁市长安镇海宁高新技术产业园区纬三路11号613室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201920880674.3
主分类号 ：
G01J3/18
IPC分类号 ：
G01J3/18 G01J3/28 G01J3/44 G02B6/10
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01J
红外光、可见光、紫外光的强度、速度、光谱成分，偏振、相位或脉冲特性的测量；比色法；辐射高温测定法
G01J3/00
光谱测定法；分光光度测定法；单色器；测定颜色
G01J3/12
光谱的产生；单色器
G01J3/18
利用衍射元件，例如光栅
法律状态
2020-01-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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