气体分压的在线测量装置
授权
摘要
本实用新型涉及气体分压的在线测量装置，包括待测气源腔室，校准气源腔室，减压腔室，恒压腔室，真空计和质谱分析模块，其中第一进气阀门和减压腔室之间设有高压待测气体进样通道和中压待测气体进样通道，第一进气阀门和恒压腔室之间设有低压待测气体进样通道，第六进气阀门与减压腔室之间设有校准气体进样通道，减压腔室和恒压腔室之间设有气体流通通道，真空计用于测量上述四个腔室的真空度，质谱分析模块用于在线测量恒压腔室的气体。本实用新型的在线测量装置，主要针对粗、低真空气体分析，根据待测气体压力而选择最优的进样通道，分压测量更加准确。
基本信息
专利标题 ：
气体分压的在线测量装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920884374.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-12
授权号 ：
CN210293526U
授权日 ：
2020-04-10
发明人 ：
罗艳吴晓斌朱精果王魁波张罗莎谢婉露
申请人 ：
中国科学院微电子研究所
申请人地址 ：
北京市朝阳区北土城西路3号
代理机构 ：
北京辰权知识产权代理有限公司
代理人 ：
佟林松
优先权 ：
CN201920884374.2
主分类号 ：
G01L11/00
IPC分类号 ：
G01L11/00 G01N27/62
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L11/00
用不包括在G01L7/00或G01L9/00组中的方法的流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力的计量
法律状态
2020-04-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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