一种微尺度ITO电极的加工装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种微尺度ITO电极的加工装置，属于微电极加工技术领域，该刻蚀装置包括净化模块、干燥模块、等离子清洗模块和刻蚀进程监测电路模块。清除ITO玻璃片表面有机物的有机物清除净化单元与清除ITO玻璃片和PDMS片表面的无机物的无机物清除净化单元；干燥模块将ITO玻璃片与PDMS片进行干燥处理；ITO玻璃与PDMS片经过等离子清洗模块处理之后键合得到微流控芯片；刻蚀进程监测电路模块用于监控和显示微流控芯片是否完成ITO玻璃的刻蚀，该装置能够实现在ITO玻璃片上刻蚀最小宽度为1微米的高精度电极；通过LED灯珠亮灭实时监控刻蚀进程，避免刻蚀不足和刻蚀过度等问题。
基本信息
专利标题 ：
一种微尺度ITO电极的加工装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920888976.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-13
授权号 ：
CN209766123U
授权日 ：
2019-12-10
发明人 ：
王赛杰殷艺陈良马蕊刘连坤武森刘志坚
申请人 ：
大连海事大学
申请人地址 ：
辽宁省大连市高新园区凌海路1号
代理机构 ：
大连东方专利代理有限责任公司
代理人 ：
姜威威
优先权 ：
CN201920888976.5
主分类号 ：
H01B13/00
IPC分类号 ：
H01B13/00 H01B13/30
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01B
电缆；导体；绝缘体；导电、绝缘或介电材料的选择
H01B13/00
制造导体或电缆制造的专用设备或方法
法律状态
2019-12-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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