一种基于亚波长尺度叉指电极的光电探测器
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摘要
本实用新型提供了一种基于亚波长尺度叉指电极的光电探测器，所述的光电探测器包括层叠设置的衬底、叉指电极和有源层，电极层包括相对设置的两个呈齿状结构的电极片，电极片的齿状结构相对且交错设置，形成蛇形沟道；有源层与电极层接触的一侧嵌入电极层的蛇形沟道内，蛇形沟道的宽度大于等于所述有源层中载流子的扩散长度。通过亚波长尺度的电极沟道宽度更窄，电极厚度更大，将光吸收和载流子提取方向解耦合；此外，有源层形成光栅结构，通过调控局域光场强度增强工作区域的光吸收，进一步地，可通过选择有源层材料、材料颗粒尺寸或者叉指电极尺寸，调控有源层光栅结构的吸收特性，从而可以针对性的选择增强某个波长的高探测响应度。
基本信息
专利标题 ：
一种基于亚波长尺度叉指电极的光电探测器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202121458939.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-06-29
授权号 ：
CN216288475U
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
吴丹王恺孙小卫唐浩东刘晨曦刘皓宸林涛仇明侠
申请人 ：
南方科技大学;深圳技术大学
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
潘登
优先权 ：
CN202121458939.4
主分类号 ：
H01L31/0224
IPC分类号 ：
H01L31/0224 H01L31/0352 H01L31/09 H01L31/18 B82Y40/00
法律状态
2022-04-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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