校准夹具
授权
摘要
本文描述了用于校准高度可调整的边缘环的设备。在一个示例中，提供一种用于相对于参考表面定位边缘环的校准夹具，所述校准夹具包括：透明板；多个传感器，所述多个传感器耦接到所述透明板的第一侧；以及多个接触垫，所述多个接触垫耦接到所述透明板的相对的第二侧。
基本信息
专利标题 ：
校准夹具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920891320.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-13
授权号 ：
CN209747490U
授权日 ：
2019-12-06
发明人 ：
A·迈尔斯D·M·库索P·村冈P·A·克里米诺儿
申请人 ：
应用材料公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
侯颖媖
优先权 ：
CN201920891320.9
主分类号 ：
H01L21/68
IPC分类号 ：
H01L21/68
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/68
用于定位、定向或对准的
法律状态
2019-12-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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