工件传输系统及激光退火设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种工件传输系统及激光退火设备，该工件传输系统用于在工件存储器、预处理机构和工件台之间传输工件，该工件传输系统包括：传输机械手、厂务气源、备用气源和管路，传输机械手在工件存储器、预处理机构和工件台之间传输工件，传输机械手通过管路连接厂务气源，传输机械手被配置为能够在厂务气源出现异常后使工件处于安全工位；备用气源与厂务气源并联设置，备用气源被配置为在厂务气源出现异常时为传输机械手供气。上述的工件传输系统能够保证工件传输过程中不会因厂务气源出现异常而发生掉落或损坏，有利于提高激光退火工艺效率，节约激光退火工艺成本。相应地，本实用新型还提供一种工激光退火设备。
基本信息
专利标题 ：
工件传输系统及激光退火设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920909150.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-17
授权号 ：
CN209747480U
授权日 ：
2019-12-06
发明人 ：
刘凯董洪波王刚张向飞
申请人 ：
上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
胡彬
优先权 ：
CN201920909150.2
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L21/677 H01L21/683
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2019-12-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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