本实用新型公开了一种清洗机清洗后高效率烘干装置，涉及硅片生产加工技术领域。包括底座，所述底座的上端固定连接有烘干箱，所述烘干箱的上端固定连接有加热装置，所述底座的上端两侧均固定连接有循环风机，所述烘干箱的两侧均通过固定机构固定连接有送风管，且循环风机的出风口与送风管固定连接，所述烘干箱的内部顶端固定连接有输风管，所述输风管的下端外侧通过滚珠轴承转动连接有转动盘。通过设置烘干箱、循环风机和转动盘，利用循环风机和加热装置对烘干装置的内部提供热风，然后通过驱动电机带动转动盘和风刀转动，能够调整烘干气流的方向，从而实现不同角度的吹风烘干，提高了烘干的效率，减少了人工和生产成本。