一种刻蚀槽
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
本实用新型公开了一种刻蚀槽，其属于太阳能电池技术领域，包括具有容置腔的槽体，所述容置腔的顶部具有开口，所述开口处盖设有盖板，所述盖板朝向所述容置腔的表面为盖板内表面，所述槽体内设有擦拭装置，所述擦拭装置能够沿第一方向往复运动，以对所述盖板内表面进行擦拭。本实用新型使得盖板内表面的水珠不会滴落到刻蚀槽内的硅片上，保证硅片的刻蚀质量。
基本信息
专利标题 ：
一种刻蚀槽
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920915548.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-18
授权号 ：
CN209785967U
授权日 ：
2019-12-13
发明人 ：
曹为龙张建峰朱元王森
申请人 ：
盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司
申请人地址 ：
江苏省盐城市阜宁县经济开发区协鑫大道88号
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
胡彬
优先权 ：
CN201920915548.7
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 H01L21/67 H01L21/306
法律状态
2021-02-26 ：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : H01L 31/18
变更事项 : 专利权人
变更前 : 盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司
变更后 : 阜宁阿特斯阳光电力科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 224431 江苏省盐城市阜宁县经济开发区协鑫大道88号
变更后 : 224431 江苏省盐城市阜宁县经济开发区协鑫大道88号
变更事项 : 专利权人
变更前 : 阿特斯阳光电力集团有限公司
变更后 : 阿特斯阳光电力集团股份有限公司
变更事项 : 专利权人
变更前 : 盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司
变更后 : 阜宁阿特斯阳光电力科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 224431 江苏省盐城市阜宁县经济开发区协鑫大道88号
变更后 : 224431 江苏省盐城市阜宁县经济开发区协鑫大道88号
变更事项 : 专利权人
变更前 : 阿特斯阳光电力集团有限公司
变更后 : 阿特斯阳光电力集团股份有限公司
2019-12-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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