一种用于电镀设备的电镀溶液输入装置和相应电镀设备
授权
摘要

本实用新型涉及一种用于电镀设备的电镀溶液输入装置,其特征在于,包括:电镀溶液进口,其被配置为输入电镀溶液;第一电镀溶液管道,其与电镀溶液进口连通以用于引导电镀溶液;以及第一组多个电镀溶液输入口,其与第一电镀溶液管道连通以用于将电镀溶液从第一电镀溶液管道输入到电镀设备中,其中所述第一组多个电镀溶液输入口被定向为使得所输出的电镀溶液以第一方向转动。通过本实用新型,可以在电镀过程中提高电镀溶液中的各组分的均匀性,从而提高电镀质量。

基本信息
专利标题 :
一种用于电镀设备的电镀溶液输入装置和相应电镀设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920928322.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-06-19
授权号 :
CN210215608U
授权日 :
2020-03-31
发明人 :
秦杰王金岗薛超林宗贤
申请人 :
德淮半导体有限公司
申请人地址 :
江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
代理机构 :
上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
李镝的
优先权 :
CN201920928322.0
主分类号 :
C25D21/14
IPC分类号 :
C25D21/14  C25D17/00  C25D7/12  
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C25
电解或电泳工艺;其所用设备
C25D
覆层的电解或电泳生产工艺方法;电铸;工件的电解法接合;所用的装置
C25D21/00
电解镀覆用电解槽的维护或操作方法
C25D21/12
工艺控制或调节
C25D21/14
电解液组分的控制添加
法律状态
2020-03-31 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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