一种导电玻璃清洗装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种导电玻璃清洗装置，包括设有内腔的框体，内腔的一面设置有开口，待清洗的导电玻璃放置在框体的开口处，在框体开口的外侧边缘设置真空腔体，在真空腔体的顶面设置多个真空吸气孔，在框体开口的顶部沿其周缘设置弹性密封条，待清洗的导电玻璃的背面被贴合在真空腔体的真空吸气孔和弹性密封条上，在框体内腔中设置了清洗导电玻璃的喷淋装置和吹干导电玻璃表面附着残留清洗液体的风刀。本实用新型一方面达到对导电玻璃非导电面的清洗要求，另一方面有效保护了导电面上制备的半导体层，同时对清洗过程产生的废液进行了回收。
基本信息
专利标题 ：
一种导电玻璃清洗装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920928517.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-19
授权号 ：
CN209708957U
授权日 ：
2019-11-29
发明人 ：
不公告发明人
申请人 ：
杭州纤纳光电科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市余杭区仓前街道龙潭路7号B幢209室
代理机构 ：
杭州奥创知识产权代理有限公司
代理人 ：
杨文华
优先权 ：
CN201920928517.5
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 B08B3/02
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2019-11-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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