一种真空反应室上的可视窗结构
授权
摘要
本实用新型涉及一种真空反应室上的可视窗结构，包含设置在真空反应室侧壁上的窗口、设置在窗口外侧的凹槽、设置在凹槽内且位于窗口外圈的密封槽、设置在密封槽内的橡胶密封圈、部分可置于凹槽内的框架、焊接或粘接在框架内的石英玻璃；所述框架的外侧四周设置有连接边；所述连接边通过多颗螺栓固定在真空反应室侧壁上；本实用新型通过将石英玻璃直接安装在框架内，不仅拆卸更加方便，且安装过程中，石英玻璃不会产生位置偏移，密封性更好，并且由于受到框架的保护，拆装过程中能防止石英玻璃受到损伤，提高了使用寿命。
基本信息
专利标题 ：
一种真空反应室上的可视窗结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920929183.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-20
授权号 ：
CN210206763U
授权日 ：
2020-03-31
发明人 ：
王浩明
申请人 ：
苏州子山半导体科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区唯新路69号一能科技园5幢102室
代理机构 ：
苏州国卓知识产权代理有限公司
代理人 ：
薛芳芳
优先权 ：
CN201920929183.3
主分类号 ：
B01J3/03
IPC分类号 ：
B01J3/03
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01J
化学或物理方法，例如，催化作用或胶体化学；其有关设备
B01J3/00
利用低于或高于大气压力使物质发生化学或物理变化的方法；其有关设备
B01J3/03
带有专用的封闭结构或密封的压力容器或真空容器
法律状态
2020-03-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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