用于检测涂层浓度的取样坩埚

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摘要

本实用新型提供了一种用于检测涂层浓度的取样坩埚，属于石英坩埚质量监测技术领域。包括坩埚本体及至少一个取样薄片，所述取样薄片设置于所述坩埚本体内壁的预定位置上。生产时，将若干所述用于检测涂层浓度的取样坩埚随机放置于待喷涂的坩埚批次中，进行正常的涂层喷涂作业。作业结束后，取下所述取样薄片，对取样薄片上的涂层浓度进行分析，从而以取样薄片上的涂层浓度代表坩埚各部位的涂层浓度，检测方便快捷，具有高的精准度。同时，实现对坩埚不同部位的涂层浓度进行精准的定点检测，针对性强。

基本信息

专利标题：

用于检测涂层浓度的取样坩埚

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920934114.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-06-20

授权号：

CN210108817U

授权日：

2020-02-21

发明人：

邓红李常国王建军何玉鹏

申请人：

宁夏富乐德石英材料有限公司

申请人地址：

宁夏回族自治区银川市西夏区光明西路23号

代理机构：

宁夏合天律师事务所

代理人：

郑重

优先权：

CN201920934114.1

主分类号：

G01N1/28

IPC分类号：

G01N1/28 G01N33/00