一种六氟化硫杂质分析仪

授权

摘要

本实用新型公开了一种六氟化硫杂质分析仪。包括进样管路、出样管路、第一分析通道和第二分析通道；第一分析通道包括：与出样管路的入口相连的十通阀，十通阀上设有第一定量环、第一载气入口、设有TCD检测器的PorapakQ色谱柱；第二分析通道包括：与进样管道的出口相连的第一六通阀，以及与第一六通阀连接的第二六通阀，第一六通阀上设有第二定量环、第二载气入口、第一Gaspro毛细柱，第二六通阀上设有第三载气入口、载气出口、设有FPD检测器的二Gaspro毛细柱，第一Gaspro毛细柱设置在第二选择阀与第三选择阀相连接的管路中间。本实用新型通过双通道及进样阀门的设置，一次进样，就能够分析检测六氟化氢中的多种杂质，并且检测精度高。

基本信息

专利标题：

一种六氟化硫杂质分析仪

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920942819.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-06-21

授权号：

CN210401330U

授权日：

2020-04-24

发明人：

邹向宇许峰韩宁张涛

申请人：

苏州赛普睿特仪器有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区20幢212室

代理机构：

苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

李艾

优先权：

CN201920942819.8

主分类号：

G01N30/02

IPC分类号：

G01N30/02 G01N30/20