凹面阵列的石墨烯-金属异质结光电探测器
授权
摘要
本实用新型公开了一种能够增加了受光面，增加石墨烯对光的吸收，避免转移过程对石墨烯造成的破坏的凹面阵列的石墨烯‑金属异质结光电探测器。该凹面阵列的石墨烯‑金属异质结光电探测器，包括衬底；所述衬底上由下至上依次设置有绝缘层、生长层、石墨烯层；所述衬底上设置有阵列分布的向下凹陷的凹槽；所述绝缘层上设置有与凹槽匹配的第一凸面；所述生长层上设置有第二凸面；所述石墨烯层上设置有第三凸面；所述石墨烯层的第三凸面的内凹槽内壁上设置有增透层；所述石墨烯层上第三凸面内凹槽的两侧分别设置有波浪形叉指的高功函电极和低功函电极。采用该凹面阵列的石墨烯‑金属异质结光电探测器，具有体积小，集成度高，识别范围广等特点。
基本信息
专利标题 ：
凹面阵列的石墨烯-金属异质结光电探测器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920946522.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-21
授权号 ：
CN210272383U
授权日 ：
2020-04-07
发明人 ：
李全福张祺朱小虎彭慧玲刘卫华宋辉李廷会刘林生汪海船黄瑞
申请人 ：
广西师范大学
申请人地址 ：
广西壮族自治区桂林市七星区育才路15号
代理机构 ：
北京中济纬天专利代理有限公司
代理人 ：
石燕妮
优先权 ：
CN201920946522.9
主分类号 ：
H01L31/0236
IPC分类号 ：
H01L31/0236 H01L31/11
法律状态
2020-04-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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