一种机器视觉高分辨同轴光照明检查装置，用于可视化检测放置在检测台上的透明待检工件的质量，包括照明系统，所述照明系统为同轴落射LED光源，在待检工件上形成的光斑照亮范围大于视场范围，于待检工件表面形成反射或透射，对于不透明介质则形成漫反射。通过照明系统光源使得被测工件得到均匀的、特效的照明，使得被测工件照明均匀性一致，当被检测工件为透明物体时，相对工件表面的杂质和污点，则形成高衬度的暗场效果，有利于发现细小物体，再通过分析软件，自动筛选不合格品，提升检测效率和判断的准确性，避免人工误判等现象发生。