一种压辊层压系统
专利申请权、专利权的转移
摘要

本实用新型涉及晶片生产技术领域,尤其涉及一种压辊层压系统,其包括掩膜层压装置、放膜装置、传送装置以及掩膜切割装置,所述放膜装置用于为所述掩膜层压装置提供掩膜,所述传送装置用于将晶片传送到所述掩膜层压装置上,所述掩膜层压装置包括相对设置的压辊,沿所述压辊的轴向表面上开设有贯穿所述压辊的凹槽,所述压辊能够将所述掩膜层压到所述晶片的上表面,所述压辊的宽度小于所述晶片的宽度,所述掩膜切割装置用于将层压到所述晶片上的所述掩膜按设定尺寸切割。本实用新型能够保证晶体表面无需层压掩膜的位置不会层压掩膜,晶片的侧面也不会粘上掩膜;同时,提高了晶片层压掩膜的自动化程度,提高了生产效率。

基本信息
专利标题 :
一种压辊层压系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920977877.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-06-26
授权号 :
CN210553519U
授权日 :
2020-05-19
发明人 :
王哲朱瑞张敏亮杨德天刘广鹏
申请人 :
东泰高科装备科技有限公司
申请人地址 :
北京市昌平区科技园区中兴路10号A129-1室
代理机构 :
北京品源专利代理有限公司
代理人 :
胡彬
优先权 :
CN201920977877.4
主分类号 :
B32B37/10
IPC分类号 :
B32B37/10  B32B38/00  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B32
层状产品
B32B
层状产品,即由扁平的或非扁平的薄层,例如泡沫状的、蜂窝状的薄层构成的产品
B32B37/00
用于层压的方法和装置,例如,通过固化或通过超声黏接
B32B37/10
以压制技术为特征,例如,使用真空或流体压力的直接作用
法律状态
2021-02-19 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : B32B 37/10
登记生效日 : 20210203
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 东泰高科装备科技有限公司
变更后权利人 : 紫石能源有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 102209 北京市昌平区科技园区中兴路10号A129-1室
变更后权利人 : 102208 北京市昌平区育知东路30号院1号楼6层3单元611
2020-05-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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