用于镀膜机的炉内晶振片自动切换装置
授权
摘要
用于镀膜机的炉内晶振片自动切换装置，本实用新型通过采用旋转电机使旋转盘于工作机台上旋转，实现对各组备用晶振片的选择，通过采用升降电机配合升降机构，使其实现机械手组件的上下轴向移动，通过采用机械手开合电机连接机械手组件，实现机械手组件的开合，从而实现该切换装置实现晶振片在真空状态下的自动切换，使镀膜机炉体内的工作环境不受影响，保证工作质量与提高工作效率，而旋转盘于工作机台上通过步进电机旋转，使得达到定位精度高、无抖动，晶振片重复位置几乎无偏差的效果，本实用新型使用方便，不需要暂停机台工作并调整环境状态，使镀膜机的镀膜工作时间大大减少，保证了工作质量，提高了工作效率。
基本信息
专利标题 ：
用于镀膜机的炉内晶振片自动切换装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921039263.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-05
授权号 ：
CN210215539U
授权日 ：
2020-03-31
发明人 ：
王越民王焘骏
申请人 ：
佛山王氏航空光学科技有限公司
申请人地址 ：
广东省佛山市南海区狮山镇经济开发区北园(测试车间)
代理机构 ：
北京世誉鑫诚专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
郭官厚
优先权 ：
CN201921039263.8
主分类号 ：
C23C14/56
IPC分类号 ：
C23C14/56 C23C16/54
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器
法律状态
2020-03-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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