本实用新型属于纳米材料技术领域，涉及一种宏量制备碳硅纳米材料装置，包括等离子电源控制的等离子体枪，等离子体枪的内腔连接有烃类气体和含硅气体储罐，等离子体枪的下端设置有冷却容器，冷却容器中设置有释放冷却气体的气体冷却环。本实用新型通过控制烃类气体、含硅气体的分腔进气或同腔进气，分别制备纳米碳硅混合体材料和高纯纳米碳化硅前驱体材料。本实用新型提供的宏量制备碳硅纳米材料装置，实现了碳硅纳米材料的工业化制备，大幅度降低了材料制造成本。