一种可控温的加热石墨坩埚
授权
摘要
本实用新型公开了一种可控温的加热石墨坩埚，包括石墨控温平台、石墨坩埚机构、高温风机、卡接限位组件和驱动组件，所述石墨坩埚机构设置在石墨控温平台内顶部，所述石墨控温平台一侧开设有安装通槽，所述安装通槽内设有卡接限位组件，所述高温风机滑动连接在安装通槽内部，且高温风机外侧开设有卡接凹槽，所述卡接限位组件通过卡接凹槽与高温风机卡合，所述驱动组件位于石墨控温平台内，此可控温的加热石墨坩埚，通过设置的卡接限位组件，使得高温风机损坏维修时，方便了对高温风机的拆卸安装，极大地减少了耗损时间，使得装置能够快速投入使用，进而保证正常生产加工的效率。
基本信息
专利标题 ：
一种可控温的加热石墨坩埚
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921053203.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-08
授权号 ：
CN210559412U
授权日 ：
2020-05-19
发明人 ：
徐涛赵杰
申请人 ：
天津市卓辉电子有限公司
申请人地址 ：
天津市东丽区华明高新技术产业区弘晟道2号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921053203.1
主分类号 ：
C01B32/956
IPC分类号 ：
C01B32/956
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素；其化合物
C01B32/00
碳；其化合物
C01B32/90
碳化物
C01B32/914
单一元素碳化物
C01B32/956
碳化硅
法律状态
2020-05-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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