一种用于电子工厂的特殊气体安全存储装置
授权
摘要
本实用新型公开了用于电子工厂的特殊气体安全存储装置，涉及安全储气技术领域，解决了现有技术中电子工厂特殊气体存放装置建设成本高的问题，其技术要点是：包括柜体和柜门，柜门铰接在柜体上，柜体表面密封连接，柜体内设有用于固定气瓶的气瓶固定机构，柜体上设置有风阀，风阀与柜体内部连通，且风阀通过气管连接尾气处理系统；本实用新型通过集成了空气置换、负压显示、固定装置及踏板为一体的存储柜完成特殊气体安全存储的工作，相对于现有技术，本实用新型气体存储更低，存储方式更方便便捷。
基本信息
专利标题 ：
一种用于电子工厂的特殊气体安全存储装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921056344.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-08
授权号 ：
CN210338998U
授权日 ：
2020-04-17
发明人 ：
刘书田周翔郑少宾魏延衍
申请人 ：
深圳融科半导体装备有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙岗区宝龙街道锦龙二路5号阳光科技园E-4栋
代理机构 ：
北京久维律师事务所
代理人 ：
邢江峰
优先权 ：
CN201921056344.9
主分类号 ：
B65D88/10
IPC分类号 ：
B65D88/10 B65D90/00
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65D
用于物件或物料贮存或运输的容器，如袋、桶、瓶子、箱盒、罐头、纸板箱、板条箱、圆桶、罐、槽、料仓、运输容器；所用的附件、封口或配件；包装元件；包装件
B65D88/00
大型容器
B65D88/02
刚性的
B65D88/10
平行六面体的
法律状态
2020-04-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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