本实用新型公开了一种高纯电子气体站气体汇流装置，包括有原料气体管道，原料气体管道连接有储气装置，原料气体管道的内腔在置换储气装置时与外界空气接触，而使原料气体管道的内腔存有不同于原料气体的杂质气体，原料气体管道还连接有真空系统，真空系统用于在杂质气体被去除之前将原料气体管道的内腔抽取真空，也即是通过脉冲置换将原料气体管道内的杂质气体去除之前就将原料气体管道抽真空，以将原料气体管道内的杂质气体抽走大部分，如此在脉冲置换时即可大大减少脉冲置换的次数，以达到对原料气体资源节约的效果。