一种高纯气体分析系统

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摘要

本实用新型公开了一种高纯气体分析系统，由与阀门组连接的介质管路、待测气源管路和分析管路组成，介质管路由介质存储器、减压装置A和介质纯化装置按顺序由管道连接，待测气源管路由高纯气源和减压装置B按顺序由管道连接，分析管路为短管道将分析仪器与阀门组连接；介质纯化装置和减压装置B由阀门Ⅰ通过管道连接，减压装置B通过阀门Ⅱ连接有去介质装置。本实用新型通过阀门组的调节，使不同管路先后独自工作，可有效清除体系中的杂质，且使进样系统压力高于外界压力，解决了外部空气渗入污染问题，排除管道中样品残留及空气组分对分析结果的干扰，使分析系统持续具备良好的测试本底。

基本信息

专利标题：

一种高纯气体分析系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020754703.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-05-09

授权号：

CN212568673U

授权日：

2021-02-19

发明人：

韩雪张说吕坤徐立林

申请人：

烟台万华电子材料有限公司

申请人地址：

山东省烟台市经济技术开发区珠江路32号留学生创业园2号楼416室

代理机构：

烟台上禾知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

高峰

优先权：

CN202020754703.4

主分类号：

G01N33/00

IPC分类号：

G01N33/00