本实用新型公开一种高纯气体充装系统，包括物料储罐部分、液泵部分、充装部分、PLC控制系统四个部分，物料储罐部分包括高纯气体储罐(1)、低压汽化器(2)；液泵部分包括液泵(3)和高压汽化器(4)；充装部分包括充装面板(5)、电子秤(6)和包装容器(20)，充装面板(5)上布置有过滤器(19)和隔膜阀V12，过滤器(19)和隔膜阀V12之间的管线上布置有氦气管(7)、真空管(9)、回收管(8)、分析管(10)、面板压力传感器(13)和真空计(14)；PLC控制系统包括液泵控制柜(15)、充装控制柜(16)。该高纯气体充装系统可以手动操作，也可实现自动充装。包装容器可以一支或多支如钢瓶或槽车的充装，过程高效、快捷。