一种高纯电子化学品的充装系统

授权

摘要

本实用新型公开了一种高纯电子化学品的充装系统，包括至少2个产品罐、至少2组过滤机构、以及输送装置；所述一号产品罐通过输送装置与第一级过滤机构的入口连接，所述第一级过滤机构的出口与所述一号产品罐的顶部连接，构成第一级循环过滤体系；所述一号产品罐通过输送装置与第二级过滤机构的入口连接，所述第二级过滤机构的出口与所述一号产品罐的顶部连接，构成第二级循环过滤体系；所述第一级循环过滤体系中的过滤机构的过滤精度小于所述第二级循环过滤体系中过滤机构的过滤精度。本实用新型新通过设置至少2个产品罐，形成了两套多级循环过滤体系，从而实现了连续式工作，从而大大提高了工作效率。

基本信息

专利标题：

一种高纯电子化学品的充装系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022133466.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-25

授权号：

CN213040302U

授权日：

2021-04-23

发明人：

金向华夏致远王毅曹文权李刚

申请人：

金宏气体电子材料（淮安）有限责任公司

申请人地址：

江苏省淮安市洪泽盐化工区（郭桥路北侧、洪盐路东侧）

代理机构：

苏州翔远专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

陆金星

优先权：

CN202022133466.2

主分类号：

F17C5/00

IPC分类号：

F17C5/00 F17D1/02 F17D3/01 B01D46/00