一种高纯电子气体的充装系统

授权

摘要

本实用新型公开了一种高纯电子气体的充装系统，包括至少1个产品罐、至少2组过滤机构、以及至少1个隔膜压缩机；所述产品罐的底部通过隔膜压缩机与一组过滤机构的入口连接，所述过滤机构的出口与所述产品罐的顶部连接，构成第一级循环过滤体系；所述产品罐的底部通过隔膜压缩机与另一组过滤机构的入口连接，所述过滤机构的出口与所述产品罐的顶部连接，构成第二级循环过滤体系；所述第一级循环过滤体系中的过滤机构的过滤精度小于所述第二级循环过滤体系中过滤机构的过滤精度。本实用新型新采用了并列设置的多级循环过滤体系，统筹兼顾了粗细多级过滤、循环过滤、产品罐外部过滤，从而彻底解决了现有的管道式过滤器存在的问题。

基本信息

专利标题：

一种高纯电子气体的充装系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022145015.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-25

授权号：

CN213040303U

授权日：

2021-04-23

发明人：

金向华夏致远张友圣李刚曹文权

申请人：

金宏气体电子材料（淮安）有限责任公司

申请人地址：

江苏省淮安市洪泽盐化工区（郭桥路北侧、洪盐路东侧）

代理机构：

苏州翔远专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

陆金星

优先权：

CN202022145015.0

主分类号：

F17C5/00

IPC分类号：

F17C5/00 F17D1/02 F17D3/01 B01D46/00