本实用新型公开了一种高纯特种气体的分装装置，包括壳体、活动座、凹槽、气瓶、连接管、导槽、竖向电机、竖向螺杆、抽气机、连通管、内腔、安装座、连通孔、横向电机、横向螺杆、滑块、安装槽、分装瓶、小孔、密封盖板、连接头、密封垫和固定管；本实用新型具有结构合理简单、生产成本低、安装方便，功能齐全，这里启动抽气机通过连通管将内腔中的气体抽出，从而避免分装时空气进入到分装瓶中，也就避免了污染高纯特种气体；本实用新型中设置的密封垫，能够提高了内腔的密封效果，也就避免外部空气进入内腔中污染高纯特种气体。