本实用新型公开了一种用于获得痕量质量和分子结构信息的高通量探测装置，利用音圈电机带动固定在压电陶瓷驱动器的微悬臂梁阵列在沿微悬臂梁宽度方向上平移，使激光光束逐一地投照微悬臂梁阵列，经尖端反射的激光由光电位置灵敏探测器探测，获得各微悬臂梁自由端的弯曲信号，利用压电陶瓷驱动器调整微悬臂梁的振动频率；设置显微拉曼光谱单元，由分时工作的观察光路子单元和拉曼激光光路子单元构成；利用观察光路子单元获得微悬臂梁自由端表面样品微观形貌；利用拉曼激光光路子单元获得拉曼光谱，进而获得样品的分子结构信息。本实用新型结合微悬臂梁传感与显微拉曼技术，实现痕量质量变化探测，用于观察样品外貌，实时探测反应过程中分子结构的变化。