一种振动辅助的纳米辊压装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种振动辅助的纳米辊压装置,首先,将机架水平放置于实验台上,然后调节X‑Y轴位移平台使Z向振动装置位于压印辊的正下方,再将已涂胶衬底固定于衬底卡盘中心,调节微调装置使压印辊水平,然后控制Z轴位移平台下移使压印辊与压印胶微接触,启动加热装置对衬底进行加热,加热完毕后开始压印,压印同时Z向振动装置开始振动,然后冷却脱模,最后控制Z轴位移平台上升,压印结束。本实用新型中采用Z向振动装置,使模板与压印胶之间产生间隙接触,减少两者之间的粘附力,通过多次间隙接触进行摩擦产热,使得压印胶融化流动,提高压印胶的填充度,再通过微调装置调节压印辊水平,冷却装置进行降温,进一步提高微纳结构的精度与保真度。
基本信息
专利标题 :
一种振动辅助的纳米辊压装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921067341.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-07-10
授权号 :
CN209858927U
授权日 :
2019-12-27
发明人 :
谷岩康洺硕陈斯张昭杰易正发徐贞潘李先耀颜家瑄徐宏宇冯开拓戴得恩刘骜卢发祥段星鑫辛成磊
申请人 :
长春工业大学
申请人地址 :
吉林省长春市延安大街2055号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201921067341.5
主分类号 :
G03F7/00
IPC分类号 :
G03F7/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
法律状态
2019-12-27 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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