蓝宝石晶圆游离磨料研磨设备

授权

摘要

本实用新型涉及蓝宝石加工技术领域，提供一种蓝宝石晶圆游离磨料研磨设备，包括：上盘、下盘、内齿轮、外齿圈、游星轮、至少三个锥齿轮和锥齿轮进给组件，所述上盘、所述下盘、所述内齿轮和所述外齿圈同轴线设置，内齿圈设置在所述上盘和所述下盘之间，所述外齿圈固定在所述下盘的上表面，所述游星轮同时与所述内齿轮和所述外齿圈啮合，所述上盘的下表面和所述下盘的上表面的外周设有锥齿圈。本实用新型通过在上盘和下盘之间设置多个锥齿轮，利用多个锥齿轮保持上盘和下盘平行设置，并带动上盘和下盘转动，同时，利用锥齿轮驱动机构带动锥齿轮沿上盘的径向运动，从而调整上盘和下盘之间的间距。

基本信息

专利标题：

蓝宝石晶圆游离磨料研磨设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921077459.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-07-10

授权号：

CN210232630U

授权日：

2020-04-03

发明人：

郁炜孙韬尹涛朱秋琴雷冬阁

申请人：

衢州学院

申请人地址：

浙江省衢州市九华北大道78号

代理机构：

北京润平知识产权代理有限公司

代理人：

陈小莲

优先权：

CN201921077459.6

主分类号：

B24B37/34

IPC分类号：

B24B37/34 B24B57/02