一种光源能量强度监测系统及光刻机
授权
摘要
本实用新型公开了一种光源能量强度监测系统及光刻机，其中，一种光源能量强度监测系统，包括：照明光路和监测光路，所述照明光路包括沿光路设置在同一水平方向上的光源、分光镜，所述监测光路包括光电探测器；所述光源发出的光在经过所述分光镜后，一部分被所述分光镜部分反射或部分透射至所述监测光路，并能够被所述光电探测器所采集。本实施例中的一种光源能量强度监测系统的有益效果在于在照明光路中添加分光镜，使得光源发射部分反射或部分透射至监测光路中，并被监测光路中的光电探测器所采集，从而实现对光刻机工作时的照明光斑的光强大小及光强一致性的监测，解决了通过传统的人工检查的方式中存在的困难和不便之处。
基本信息
专利标题 ：
一种光源能量强度监测系统及光刻机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921106219.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-15
授权号 ：
CN210626877U
授权日 ：
2020-05-26
发明人 ：
徐占辉张晓辉刘景华肖自雄区俊杰尹建刚高云峰
申请人 ：
大族激光科技产业集团股份有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区高新科技园北区新西路9号
代理机构 ：
深圳市世联合知识产权代理有限公司
代理人 ：
林霞
优先权 ：
CN201921106219.4
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-05-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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