本实用新型公开了一种半导体厂用CMP废水高效回收设备，具体涉及污水处理领域，包括污水处理箱，所述污水处理箱的前表面设置有控制开关，且污水处理箱的内部设置有沉淀槽，所述污水处理箱的顶部位于沉淀槽的上方设置有进液管口，且污水处理箱的外壁位于进液管口的外侧安装有格栅网箱，所述沉淀槽的顶部插设有第一吸液管，所述第一吸液管的顶端连接在第一水泵的进液端，所述污水处理箱的内部位于沉淀槽的一侧设置有过滤槽，所述过滤槽的内部交错连接有滤网板。本实用新型便于对废水进行多重过滤处理，且便于对滤网板表面附着的杂质进行冲洗，减少了人为取出清理的麻烦，并能够污水处理箱内部的部分异味进行吸收净化处理。