一种可调式菱形石英舟
授权
摘要
本实用新型公开了一种可调式菱形石英舟，包括2个上槽棒、2个下槽棒和侧板，所述侧板上设置有2个上槽棒，所述上槽棒的下方设置有与之相对应的2个下槽棒，所述上槽棒与下槽棒形成梯形的，所述上槽棒与下槽棒上设置有固定槽，所述固定槽上设置有插片模块，所述插片模块能在固定槽上移动并且为可拆卸式的。本实用新型所提供的一种可调式菱形石英舟有益效果为：可以根据要求来放置硅片，使硅片的放置位置可调节，也方便了员工的操作。而且插片模块为可拆卸式的，可以根据插片模块的尺寸来选择相应的插片模块，增加了石英舟的实用性。
基本信息
专利标题 ：
一种可调式菱形石英舟
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921114187.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-16
授权号 ：
CN210325729U
授权日 ：
2020-04-14
发明人 ：
常永喜汤芳
申请人 ：
苏州浩锐石英科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴江区震泽镇大船港村
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921114187.2
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673 H01L31/18
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2020-04-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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